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Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium

四双(乙基甲基氨)铪(IV

品牌
Strem
CAS
352535-01-4
货号
72-7720
规格纯度
99% (99.99+%-Hf, <0.15% Zr) TEMAH PURATREM
参考价格
1140 *本价格含增值税费
促销
服务
  • 原厂保证
  • 包邮
  • 增值税票
数量
-+
产品名称:
352535-01-4
Tetrakis(ethylmethylamino)hafnium
四双(乙基甲基氨)铪(IV
产品介绍:

Technical Notes:

1. ALD/CVD precursor for Hf thin film deposition.

References:

1.Chem. Mater. 2002, 14, 4350.

2.Chem. Vap. Deposition 2002. 8 1 99.

3.J. Electrochem. Soc. 2005, 152, G213.

4.Chem. Mater.2004, 16, 3497 .

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